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国家重大专项前瞻性项目“晶圆级石墨烯电子材料与器件研究”顺利通过综合验收

  

中科院上海微系统与信息技术研究所牵头承担的国家02重大专项项目晶圆级石墨烯电子材料与器件研究(以下简称02石墨烯项目)于20171013日在上海微系统所顺利通过验收。

02石墨烯项目由中科院上海微系统所牵头承担,参研单位包括中科院微电子所、西安电子科技大学、北京大学、清华大学、南京大学和复旦大学。经过6年(2011-2016)努力,先后攻克了8英寸大晶畴石墨烯晶圆、单点形核控制1.5英寸石墨烯单晶、4英寸Ge基取向外延、石墨烯纳米带、石墨烯材料缺陷综合表征、石墨烯器件模型和设计仿真软件、石墨烯器件工艺与集成、高性能射频晶体管等关键技术,在互补型石墨烯CMOS原型器件方面也进行了很有价值的探索。

验收会由02专项实施管理办公室组织,验收专家组依据重大专项相关规定,认真听取了项目及课题负责人的科研任务和财务报告,听取了相关人员对项目实物成果的介绍以及软件现场演示,对前期现场测试情况、知识产权指标完成情况,财务执行和审计情况、内部验收整改情况等进行了审核,对项目成果及其水平、石墨烯材料在电子领域应用存在的障碍及发展前景进行了热烈的讨论。专家组一致认为,02石墨烯项目圆满完成了任务,取得了多项在国内外具有影响力的科研成果,部分成果达到了国际领先水平,形成了比较完整的研究队伍和知识产权体系,为我国在石墨烯电子学领域的发展奠定了重要基础。