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上海市长宁区865号simco@mail.sim.ac.cn为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。
所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2026年第一季度开展了16场专项培训，其中包含入室安全培训，RIE刻蚀设备上机培训、IBE刻蚀设备上机培训、台阶仪设备上机培训、ICP刻蚀设备上机培训、减薄抛光设备上机培训、SVG直写光刻设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员58人。15名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。
在平台第一季度开展的多项设备上机培训中，15名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。
2名学员通过了MA6光刻设备上机考核；3名学员通过了SVG直写光刻设备上机培训；4名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；2名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核；1名学员通过了IBE刻蚀设备上机考核；2名学员通过了退火设备上机考核；1名学员通过了台阶仪设备上机考核。
为提升科研平台仪器设备使用效率，强化安全操作规范，所级公共技术中心于3月13日在长宁园区8号楼11楼会议室，开展了2026年度第一期“入室培训”。各实验室同学踊跃报名、积极响应，本次培训活动顺利召开。
本次培训由所级平台负责人孙浩老师主持。孙老师详细介绍了材料器件工艺与表征平台的规章制度、工艺能力、服务项目及开放时间，并结合危化品安全管理、个人防护措施等内容，重点强调了净化间的安全注意事项。
通过本次培训，同学们对平台的使用规范和安全要求有了全面了解，确保了后续实验工作的顺利开展。
为进一步提高平台仪器设备使用效率，加强仪器使用的安全意识和责任意识，提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。
所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2025年第四季度开展了33场专项培训，其中包含入室安全培训，RIE刻蚀设备上机培训、IBE刻蚀设备上机培训、台阶仪设备上机培训、SEM设备上机培训、SVG直写光刻设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训，累计培训学员131人。31名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。
在平台第四季度开展的多项设备上机培训中，37名学员在完成培训后通过考核，获得设备操作许可，可以独立上机操作。
14名学员通过了MA6光刻设备上机考核；2名学员通过了SVG直写光刻设备上机培训；1名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核；9名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核；5名学员通过了台阶仪设备上机考核；3名学员通过了SEM设备上机考核；3名学员通过了减薄抛光系统设备上机考核。
为进一步满足科研人员需求，提升设备使用效率，中国科学院上海微系统与信息技术研究所公共技术中心于12月25日在上海微系统所长宁园区3号楼3楼会议室举办了显微成像技术及应用讲座。
此次讲座由蔡司的高级应用工程师李洪主讲，他在电镜领域拥有丰富的从业经验。本次应用讲座围绕激光共聚焦显微镜的半导体领域应用展开专题分享，紧扣用户实际应用需求，重点讲解了设备在高分辨成像、多模态观察、无损膜厚测量、高深宽比测量方面的应用案例，也展示了其针对半导体微纳样品实现的高分辨率荧光、光谱分析、原位测量、光电关联及自动化分析等新型应用。现场参会老师结合自研样品积极提问、深入交流。
本场讲座的实操环节在上海微系统所长宁园区8号楼2楼裙楼实验室，进行了激光共聚焦显微镜的实机演示及操作指导。上机培训环节反响热烈，蔡司工程师针对用户的膜厚类疑难样品、阵列微孔、光刻胶样品等测试痛点，现场给出针对性测试方法与参数优化建议，成功协助用户完成精准检测，获取了准确的测量数据。
此次所级中心联合蔡司开展专题讲座圆满结束。本场讲座通过理论讲解与典型样品上机测试，提升了参与人员的激光共聚焦显微镜设备操作技能，助力我所科研工作者更好的使用平台电镜仪器，进一步开展科研工作。
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