实验室在2025全国颠覆性技术创新大赛中获优胜奖
“全国颠覆性技术创新大赛” （简称“大赛”）由京津冀国家技术创新中心主办，上海、广州等分中心承办，至今共举办了四届，已经成为国内发现、识别、遴选颠覆性技术项目的一个重要平台。
上海微系统所传感器技术全国重点实验室李昕欣研究员团队成果“单片单面MIS工艺制造的先进MEMS传感器”获得2025全国颠覆性技术创新大赛优胜奖。值得一提的是李昕欣研究员团队连续两届参赛并荣获奖项（2024年度成果“超灵敏快速检测芯片式热分析仪”获得当年度大赛最高奖—卓越奖）。
当前，国际先进的第三代MEMS工艺已成功实现高端传感器芯片的产品化与市场化，本项目原始创新发明了第三代单面体硅MEMS制造的“微创手术(MIS)”工艺方法，研制出多类先进传感器且量产良率高于90%，构建了覆盖多品种传感器批产的通用平台工艺，弥补了我国先进MEMS工艺从“无”到“有”的空白，解决了国际现有第三代MEMS工艺加工品类单一的痛点问题。加工的多种传感器主要性能指标超越国际同类先进传感器，为我国构建自主可控的传感器产业链和供应链提供了坚实的技术支撑。
“微创手术（MIS）” 创新工艺方法
“微创手术（MIS）”工艺制造的MEMS传感器